日本展出直径460mm的单晶硅锭
2008年06月10日 10:19 6453次浏览 来源： 中国有色网 分类： 新技术
日本Covalent Materials公司（原东芝陶瓷）在2007年11月15~16日该公司主办的技术展会上，展示了直径460mm的单晶硅锭。除可用于300mm硅片相应装置的内部零部件外，将来有望用于450mm硅片。
此次展出的硅锭，可用作在300mm硅片刻蚀装置上部电极使用的喷淋板及设置在硅片放置台上的环型聚焦环等部件。上述产品该公司已投产，部件直径达400mm。在此基础上开发的大直径硅锭的生长技术是实现450mm硅片的重要基础技术。
为实现450mm硅片，还必须要进一步降低硅锭内部的杂质和结晶缺陷，该公司利用各种模拟技术，优化结晶生长条件、硅片加工及研磨条件。半导体业计划2012~2014年在批量生产线上使用450mm硅片，该公司将配合这一计划做进一步开发。
责任编辑：CNMN
如需了解更多信息，请登录中国有色网：www.allloginpage.com了解更多信息。
中国有色网声明：本网所有内容的版权均属于作者或页面内声明的版权人。
凡注明文章来源为“中国有色金属报”或 “中国有色网”的文章，均为中国有色网原创或者是合作机构授权同意发布的文章。
如需转载，转载方必须与中国有色网（ 邮件：cnmn@cnmn.com.cn 或 电话：010-63971479）联系，签署授权协议，取得转载授权；
凡本网注明“来源：“XXX（非中国有色网或非中国有色金属报）”的文章，均转载自其它媒体，转载目的在于传递更多信息，并不构成投资建议，仅供读者参考。
若据本文章操作，所有后果读者自负，中国有色网概不负任何责任。
